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產(chǎn)品特性和核心技術(shù):
激光自動(dòng)聚焦:
·自主研制的激光輔助離焦量傳感器。
·可在無(wú)圖案晶圓上實(shí)現(xiàn)精確自動(dòng)聚焦和表面跟蹤。
·輔以圖形邊緣識(shí)別,實(shí)現(xiàn)雙模式自動(dòng)調(diào)焦。
明場(chǎng)成像和照明系統(tǒng):
·自主研制的小型化科勒照明系統(tǒng)。
·照明視場(chǎng)均勻、無(wú)暗角,成像視場(chǎng)中心和邊角均有高對(duì)比度和解析度。
全自動(dòng)操作:
·全軟件控制,自動(dòng)調(diào)焦、尋區(qū)、切換物鏡……
供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)可控。
性能參數(shù):
激光自動(dòng)聚焦

顯微成像

不同倍數(shù)物鏡下典型成像效果

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